XXY对位平台_UVW高精度对位平台__视觉对位平台

文章出处：张肖责任编辑：张肖发表时间：2022-09-19

　　高精密对位平台
公司源自台湾技术团队研发的高精密对位平台在高端设备上已被应用工程师水平或倒置安装
XXY对准平台，也称为XYθ（Theta）平台，专为高精度对位设备而设计。它在XY平面中移动并围绕XY平面的中心旋转。XXY对位平台
通常称作XYθ平台或UVW平台
提供常规的8种型号的XXY对位平台，小尺寸的重复定位精度为2μm，大规格的为3μm。这些型号的线性行程为±5 mm，大尺寸的可达±10mm。另外，XXY平台可以围绕XY平面的中心旋转到±3°，水平负载从15KG到100KG。
尺寸结构多样化， XXY对位平台现有空心及实心两种设计，可满足用户不同的设计需求
薄型设计节省空间-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
高精度、高刚性、稳定性保障，实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
XXY对位平台， XYθ轴平移台， uvw平台，视觉对位平台 XXY对位平台广泛应用于光学测量仪器，晶圆对准，LCD面板检测，半导体处理，激光切割和钻孔，复合机等。

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