UVW平台介绍以及运动控制算法功能介绍及用法

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一、UVW平台介绍

1、这是一种可以实现以平面上任意一点为中心，进行旋转运动的装置，并可沿着任意的方向平移。

2、此平台和视觉CCD纠偏系统对接在一起，可以很快完成高精度的纠偏工作，重复定位精度一般可达±1μm；

UVW平台和以前的xyθ平台相比，有以下几点不同：

1、控制精度高于xyθ平台；

2、UVW平台可以平面上任意一点为中心做旋转运动（包括无限远）；而xyθ平台由于仅仅依靠一个电机的转动控制，所以旋转中心必须是固定在平台上某处（θ电机连接处），且必须随平台一同运动。

3、基于第二点的区别，显然UVW平台是需要一个绝对坐标系作为参考系，其旋转中心才有意义；而xyθ平台则必须是一个随平台动的坐标系作为参考系，这样控制计算方法便完全不一样了。

其作法有

1.XYθ 对位平台:就是以一组X,一组Y向的模组,叠加起来,在上方安置一个旋转机构,成为一个XYθ对位平台,一般精度比较低

2.UVW 对位平台: 就是以两组X电动模组,一组Y向的电动模组,叠加起来,在上方安置一个电动旋转机构,成为一个UVW对位平台,精度比前者要高

3.XXY 对位平台:就是二个X轴向电动模组,以及一个Y轴向模电动组加上一个自由轴模组组成的XXY对位平台,他可以利用个轴模组内加装的转盘,在XXY軸同動時產生出θ角的微量旋转，精度相当的高

4.XXYY 对位平台:顾名思义就是二个X轴向电动模组,以及二个Y轴向电动模组组成的XXYY对位平台,精度,对位速度,机体的刚性都是相对上项各种产品中最高,制造难度也最大的

对位平台最早是源自于德国,采用的方式是用pin针拨动有着磁力开关的frame,让上方不动的玻璃得以和下方的框架结合，到了日本则被改为以电的三向UVW来命名的UVW平台,然后以此为蓝本,工程师再将其缩小,并大大的降低了高度,组合出了现在常看到的XXY形式的对位平台。原始的磁力开关也进化到以导轨甚或交叉导轨组装的单体模组,以及由三轴电机甚或四轴电机带动的高精度对位平台。

6、将5和6步获取的三个电机的给进量对应相加，分别得到对应电机给进量C1、C2、C3，并用此给进量驱动对应电机即可。即是，将运动过程拆解，变成平移和旋转部分，分别计算电机给进量。

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